新華網沈陽5月1日電（記者于也童）計劃總投資5億元的中科芯微半導體機器人研發生產基地項目4月30日在沈陽啟動。記者了解到，這一項目將打造集研發、生產、銷售為一體的半導體機器人研發生產基地，填補相關領域國產替代市場空白。

　　據悉，中科芯微半導體機器人研發生產基地項目占地面積約6.9萬平方米，將建設數字化智能制造生產廠房、半導體核心設備實驗室、研發綜合樓等設施。項目竣工投產后，可實現年產半導體機器人1000臺套，預計新增產值10億元。

圖為項目啟動現場。鐵西區委宣傳部供圖

　　素珀電子科技（上海）有限公司董事長、中科芯微智能裝備（沈陽）有限公司董事長朱玉東表示，企業自落戶沈陽經開區、中德園，感受到當地營商環境不斷升溫，對企業的幫扶和支撐越來越有力。

　　“希望新的研發生產基地建成后，能依托本地產業鏈、供應鏈，吸引更多上下游企業加入，共同形成產業鏈聚集發展的良好態勢?！敝煊駯|說。

圖為項目啟動現場。鐵西區委宣傳部供圖

　　據悉，中科芯微智能裝備（沈陽）有限公司是素珀電子科技（上海）有限公司投資創立的高新技術企業，主要專注于半導體制造核心裝備的自主研發與產業化。

　　素珀電子于2020年6月“落子”沈陽，在沈陽經開區設立了研發生產基地——中科芯微，隨后逐步構建起覆蓋芯片制造前道工藝全制程的設備體系。

　　五年來，中科芯微年均推出5-10項創新產品，累計完成十余項重大科技攻關項目，成功開發出20余種高精度半導體潔凈機器人系列產品，在精密傳動系統、真空環境兼容性、納米級定位精度等“卡脖子”領域取得研發進展。

　　作為項目服務保障方代表，中德（沈陽）高端裝備制造產業園項目（企業）服務中心主任王大力表示：“項目是區域發展的生命線，我們一直努力為企業提供全鏈條‘保姆式’服務?！?/p>

　　今年以來，沈陽經開區、中德園將整體項目服務模式從“店小二”升級為“快遞員”，推動服務理念、機制、效能系統性變革，用“快遞員”式的主動作為、上門服務，力爭讓企業發展“無顧慮、無煩惱”。